【校友建功立业风采】张卫：深耕芯片领域细培创新人才

张卫，1984-1988年、1988-1991年、1991-1995年在西安交通大学电气工程系电气绝缘技术专业学习，分别取得学士、硕士、博士学位。现为复旦大学微电子学院院长、教授、博士生导师。主要从事集成电路工艺、半导体器件和半导体材料的研究。自1997年以来承担国家自然科学基金、国家重大专项、上海市重大重点项目等20多项，在集成电路先导工艺技术、半导体器件和半导体材料等方面开展了系统研究，并取得很多创新性成果。自1992年以来在Science，Nature Nanotechnology, Nature Materials, Applied Physics Letters，IEEE Electron Device Letters，IEEE Tran. on Electron Devices等国际学术期刊和会议上发表论文300多篇，申请专利180多项。

5月1日早上7点，不少人还在睡梦中享受五一国际劳动节的小长假，复旦大学微电子学院院长张卫教授就已走进办公室，开始为学生修改论文。知悉自己获得全国五一劳动奖章时，张卫放下手中的论文简单庆祝了一下。他说：“荣誉只代表过去，我得继续努力工作，每天都有很多事情要做。”

疫情期又值毕业季，张卫格外忙碌。他每天从住所到办公室两点一线，除教学和科研外，还要审阅、修改学生论文，担起疫情防控的责任。用张卫的话说，他就是“一个平凡的人”，但这平淡平凡的背后，是沉甸甸的责任和担当。

搭建第一套原子层沉积实验平台

时光回到20多年前。1995年6月，张卫博士毕业后到复旦大学做博士后，合作导师是电子工程系教授王季陶。在这期间，他瞄准本领域的国际学术前沿，开展了铜互连技术和低介电常数互连介质等研究，并取得了很好的学术成绩。博士后出站后，张卫留校工作，继续专注于集成电路领域的创新研究。

之后，张卫在德国做了一年半的“洪堡学者”，2002年5月他回到复旦大学。在学校和学院领导的支持下，他在国内率先开展了原子层沉积(ALD)高k栅介质的研究。

2003年，他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备，随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议，邀请了国内外ALD领域专家参会，迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。

如今，中国原子层沉积学术会议(CALD)已成功举办了9届。张卫教授团队在原子层沉积领域的研究也取得了丰硕成果，发表相关学术论文120多篇。

“做科研就是要锲而不舍”

28年时间，张卫从一个初出茅庐的科研人员成长为国内集成电路领域的领军人物，获得无数荣誉。这一切的背后，离不开他的“死磕”。在他看来，“做科研，是我的工作，也是我长久的坚守。”

2004年，微电子学院青年教师孙清清还是一名大四学生，当时他在张卫课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备时，他发现张卫总在旁边。

“几天接触下来，我感觉张老师是一个非常严谨的人，能从他身上学到东西。”本科毕业后，孙清清跟着张卫攻读研究生。如今，孙清清也已成长为一名学科带头人。“有时候，在大家觉得‘没必要’或‘不可能’的时候，他就不放弃，死磕，最后成功推进了。”孙清清说。集成电路领域的研究需要产学研深度合作。据孙清清回忆，张卫经常带着他们跟企业去谈，有时候每周都要飞过去。“是张老师的坚持打动了对方，最终合作得以成功。”孙清清说，“如果中间不坚持，事情肯定就‘泡汤’了。”

微电子学院2019级博士生徐航说：“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时，讨论中，他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上，让你看到一些之前没考虑的问题，帮你理清科研思路。”

凭着这份韧劲，张卫几十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年来，他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目，在《科学》《自然》《自然-材料》《电子器件快报》等学术期刊及会议上发表论文300多篇，申请发明专利180多项。

做有价值的人生导师

“作为一名老师，首要任务是教书育人，为行业培养高质量的人才。”张卫说。除了潜心科研，张卫坚守在教学一线。他给本科生讲授《半导体材料》课程。一位复旦大学微电子专业20年前毕业的学生，现在已是企业高管，依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。

在张卫看来，“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师，我想不仅是做科研，更是作为人生导师。不仅传授知识，更要活用我过去几十年的人生阅历，引导他们成长”。

多年来，他培养了一大批集成电路领域的优秀人才，其中5人获得国家高层次人才等称号，40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员，成长为我国集成电路领域的领军人物。

这两年，张卫还为高中生先修课堂上课，讲授“改变世界的芯片技术”。他说，芯片是现代工业的粮食，是我们国家高科技强国建设的重要一环，希望通过先修课堂，让中学生对研究有了解，激发他们对科研世界的思考。

主动对接国家重大战略需求

谈到未来微电子学院的发展，张卫说，学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求，在平台建设、科研创新和人才培养等方面积极进取，特别是要探索集成电路人才培养的新模式，解决产业核心技术问题，培养产业急需的创新型领军人才，走出一条新路径。

张卫说，集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表，将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院，为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。

离开科研、教学，张卫的生活很简单，平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来，他保持良好作息习惯，每天晚上11点之前睡觉，早上6点钟起床，以充沛的精力投入到新的一天。

近段时间，微电子学院实验室暂时“停摆”。为缓解学生的科研焦虑，张卫做了一些调整，让科研不间断，包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课，等待条件允许时快速投入、推进实验。

张卫寄语青年人：“你们处在一个伟大的时代，要树立远大目标，将个人规划和国家需求紧密结合，努力成为担当民族复兴大任的时代新人。”

(原文刊载于中国科学报，文章版权归原作者及原出处所有。)

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